本實(shí)用新型提供一種微色譜柱,微色譜柱包括襯底、微溝道及橢圓微柱陣列,可使得微柱后的“準零流速區”的區域大大縮小;可在增加橢圓微柱數量的同時(shí)調整橢圓微柱的短軸長(cháng)度q,以在保持微溝道的寬度w及微溝道的有效寬度d不變的前提下,可有效提高柱內表面積,同時(shí)可有效解決因微柱數量的增加而帶來(lái)的柱前壓力升高的問(wèn)題;通過(guò)在沿微溝道的寬度方向上,將n列橢圓微柱之間、橢圓微柱與微溝道的側壁之間設計成具有不同的間距,可進(jìn)一步的緩解載氣流速不均的問(wèn)題,以進(jìn)一步的使得柱內的流速分布均勻;本實(shí)用新型的微色譜柱結構和制備工藝簡(jiǎn)單,可提高微色譜柱的功效、減小供氣系統的負擔,有利于便攜式應用,使得微色譜柱具有廣泛的應用前景。
院屬單位：中國科學(xué)院上海微系統與信息技術(shù)研究所
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