本實(shí)用新型提供一種氦離子化檢測器,包括襯底、激發(fā)電極對、進(jìn)氣管、偏置電極及收集電極;襯底中具有腔室,腔室包括激發(fā)電極溝道、進(jìn)氣溝道及出氣溝道,激發(fā)電極溝道與出氣溝道相連通構成第一交匯區,進(jìn)氣溝道與出氣溝道相連通構成第二交匯區;激發(fā)電極對的激發(fā)電極區位于第一交匯區;進(jìn)氣管為具有相同形貌且相向設置的第一進(jìn)氣管及第二進(jìn)氣管,可向第二交匯區提供具有相同壓強的輔助載氣及樣品載氣;偏置電極及收集電極位于出氣溝道中,且設置于第二交匯區外側遠離第一交匯區處。本實(shí)用新型可在腔室中形成高壓“準零流速區”,有利于激發(fā)氦等離子體,且此區域氦氣流速極低,有利于穩定氦等離子體基團,進(jìn)而可降低基線(xiàn)噪聲。
院屬單位：中國科學(xué)院上海微系統與信息技術(shù)研究所
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